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技術・製品紹介
新規技術関連設備
MOCVD装置
製品概要
誘電体薄膜用MOCVD装置。
製品の特長
  • コンパクトで非常に安価
  • 操作が簡単で扱いやすく、メンテナンスも容易
  • ダウンフロータイプで成膜速度が大きい
  • 0.1〜500torrの広範囲な減圧制御が可能
  • 回転機構付き基板ヒーターの採用。
  • 固体/液体原料両方の原料加熱用ベッセルが使用可能
  • ロードロック機構付きも可能
  • 強誘導体薄膜に最適
カーボンナノチューブ作成装置
製品概要
カーボンナノチューブ製造装置。
製品の特長
  • レーザーアブレーションによるカーボンナノチューブ製造装置
超伝導線製造設備
製品概要
多段MOCVD法による超伝導線製造設備

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