MRAM関連設備
300mm Siウェハー対応
縦型磁場中真空熱処理装置
300mm Siウェハー対応
横型磁場中真空熱処理装置
GMRおよびTMR型HDD磁気ヘッド関連設備
5Tesla磁場中真空熱処理炉
R&D用5Tesla磁場中真空熱処理炉
回転磁場中真空熱処理炉
高温GMR測定設備
レジストハードベーク炉
着磁装置
ガラス線引き装置
熱処理関連設備
露点制御付雰囲気熱処理炉
高真空雰囲気炉
半導体デバイス拡散炉
大型ホットプレス（2チャンバー1プレス方式）
単結晶関連設備
縦型ブリッジマン炉
全自動縦型連続滴下方式ブリッジマン炉
真空高温縦型ブリッジマン炉
誘導加熱チョクラルスキー炉
新規技術関連設備
MOCVD装置
カーボンナノチューブ作成装置
超伝導線製造設備
Ni超微粉製造装置
非接触熱膨張測定装置
超強磁場中熱処理炉
