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MOCVD装置 |
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製品概要
誘電体薄膜用MOCVD装置。
製品の特長
- コンパクトで非常に安価
- 操作が簡単で扱いやすく、メンテナンスも容易
- ダウンフロータイプで成膜速度が大きい
- 0.1〜500torrの広範囲な減圧制御が可能
- 回転機構付き基板ヒーターの採用。
- 固体/液体原料両方の原料加熱用ベッセルが使用可能
- ロードロック機構付きも可能
- 強誘導体薄膜に最適
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カーボンナノチューブ作成装置 |
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製品概要
カーボンナノチューブ製造装置。
製品の特長
- レーザーアブレーションによるカーボンナノチューブ製造装置
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超伝導線製造設備 |
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製品概要
多段ＭＯＣＶＤ法による超伝導線製造設備 |
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